產(chǎn)品簡介
V400ACE聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)整合了離子柱設(shè)計(jì)、氣體輸送和端點(diǎn)檢測的最新成果，為先進(jìn)的集成電路提供快速、高效、經(jīng)濟(jì)有效的加工修改。
電路編輯可以讓產(chǎn)品設(shè)計(jì)師在數(shù)小時(shí)內(nèi)更改導(dǎo)電通道和測試修改后的電路，而不是需要幾周或幾個(gè)月來生成新的掩模和加工新的晶圓。 更少、更短的修改和測試周期允許制造商加速新工藝，以更快地獲得高產(chǎn)量的利潤，并率先推出定價(jià)更高的新產(chǎn)品。 V400ACE是專門為滿足先進(jìn)設(shè)計(jì)和工藝的挑戰(zhàn)而設(shè)計(jì)的:更小的幾何尺寸、更高的電路密度、奇異的材料和復(fù)雜的互連結(jié)構(gòu)。
產(chǎn)品特性
產(chǎn)品應(yīng)用
失效分析
微組裝
規(guī)格參數(shù)
Ion Column | Tomahawk, Ga liquid metal 1000 hour lifetime |
Acc. Voltage | 0.5 kV – 30 kV |
Beam Current | 1.1 pA – 65 nA |
Image Resolution | 4.5nm |
Stage | 5-axes motorized eucentric X, Y motion 100 mm Tilt -10° to 60° Rotation 360° |
End Point Detect | Simultaneous SE/specimen current auto scaled plots |
Key options | Charge Neutralizer (electron flood gun) Bulk Si Trenching IR Microscope Electrical Feedthroughs |
