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失效分析在片測試系統(tǒng)

失效分析在片測試系統(tǒng)
產(chǎn)品詳情


MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example:Failure A

故障分析與設(shè)計調(diào)試

  • 穩(wěn)定的顯微鏡橋設(shè)計和XY顯微鏡,放大倍數(shù)高達4000倍(可選)

  • 激光切割機和相機準備就緒

  • 觸點亞微米特征

  • 同時使用探針卡和單針(選件)

  • 用于單個 DUT 的芯片載物臺

  • 從晶圓至芯片至封裝的極快轉(zhuǎn)移

  • 具有1μm功能分辨率的真空定位器

  • 具有納米級分辨率和準確度的 DPP450 針座(選項)

產(chǎn)品手冊 下載


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